ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
Тип и номер: ГОСТ 26239.8-84
Наименование: Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
Страниц в документе: 9
Статус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS. Ограничение срока действия снято: Протокол № 7-95 МГС от 01.03.95 (ИУС 11-1995)