ГОСТ 25196-82 — Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования

• Тип и номер: ГОСТ 25196-82
• Наименование: Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
• Страниц в документе: 3
• Статус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS. Ограничение срока действия снято: Протокол № 2-92 МГС от 05.10.92 (ИУС 2-1993)
• Утвержден: Госстандарт СССР; Комитет стандартов, мер и измерительных приборов при Совмине СССР, 31.03.1982
• Текст документа: присутствует
• Изображение документа: присутствует