ОСТ 11 050.068-83 — Микросхемы интегральные и приборы полупроводниковые. Метод контроля дефектов структуры приповерхностных слоев пластин

• Тип и номер: ОСТ 11 050.068-83
• Наименование: Микросхемы интегральные и приборы полупроводниковые. Метод контроля дефектов структуры приповерхностных слоев пластин
• Статус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS
• Утвержден: Минэлектронпром СССР; МЭП СССР, 01.01.1983
• Текст документа: отсутствует
• Изображение документа: присутствует