ГОСТ Р 72477-2025 — Оборудование специальное технологическое, применяемое в микроэлектронном производстве. Общие технические условия

• Тип и номер: ГОСТ Р 72477-2025
• Наименование: Оборудование специальное технологическое, применяемое в микроэлектронном производстве. Общие технические условия
• Статус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS
• Утвержден: Росстандарт; Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, 23.12.2025
• Текст документа: отсутствует
• Изображение документа: присутствует