ОСТ 11 055.003-78 — Полупроводниковые приборы. Фотолитография. Технические требования к технологическому процессу

• Тип и номер: ОСТ 11 055.003-78
• Наименование: Полупроводниковые приборы. Фотолитография. Технические требования к технологическому процессу
• Статус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS
• Утвержден: , 01.01.1978
• Текст документа: отсутствует
• Изображение документа: отсутствует

Документ заменен на:

• ОСТ 11 14.7006-87 — Микросхемы интегральные и приборы полупроводниковые. Технические требования к технологическому процессу литографии