РД 11 14.3319-90 — Микросхемы интегральные и приборы полупроводниковые. Требования к технологическому процессу ионного легирования пластин кремния

• Тип и номер: РД 11 14.3319-90
• Наименование: Микросхемы интегральные и приборы полупроводниковые. Требования к технологическому процессу ионного легирования пластин кремния
• Статус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS
• Утвержден: Минэлектронпром СССР; МЭП СССР, 01.07.1991
• Текст документа: отсутствует
• Изображение документа: присутствует