РД 11 054.298-84 — Микросхемы интегральные и полупроводниковые приборы. Технологический процесс надрезания пластин кремния

• Тип и номер: РД 11 054.298-84
• Наименование: Микросхемы интегральные и полупроводниковые приборы. Технологический процесс надрезания пластин кремния
• Статус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS
• Утвержден: Минэлектронпром СССР; МЭП СССР, 30.11.1984
• Текст документа: отсутствует
• Изображение документа: присутствует