ОСТ 11 14.7006-87 — Микросхемы интегральные и приборы полупроводниковые. Технические требования к технологическому процессу литографии

• Тип и номер: ОСТ 11 14.7006-87
• Наименование: Микросхемы интегральные и приборы полупроводниковые. Технические требования к технологическому процессу литографии
• Статус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS
• Утвержден: Минэлектронпром СССР; МЭП СССР, 21.12.1987
• Текст документа: отсутствует
• Изображение документа: присутствует

Взамен:

• ОСТ 11 055.003-78 — Полупроводниковые приборы. Фотолитография. Технические требования к технологическому процессу