ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне
ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне
15
Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS
Росстандарт; Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, 23.07.2020