ГОСТ Р 8.716-2010 — Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика выполнения измерений

Тип и номер: ГОСТ Р 8.716-2010
Наименование: Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика выполнения измерений
Страниц в документе: 11
Статус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS
Утвержден: Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, 21.12.2010
Текст документа: присутствует
Изображение документа: присутствует
Ключевые слова: средства измерений, спектральная чувствительность, ультрафиолетовое излучение, сила излучения, спектральные коэффициенты зеркального и диффузного отражения