ГОСТ 8.591-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
ГОСТ 8.591-2009
Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
Межгосударственный стандарт введен в действие для добровольного применения в межгосударственных отношениях. Идентичен и имеет одинаковую силу на территории РФ с введенным ранее в действие ГОСТ Р 8.629-2007. (Приказ № 55-ст от 05.04.2010 г. Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии) (ИУС 8-2010)
15
Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS
Росстандарт; Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, 05.04.2010
методика поверки, рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп, лазерный интерферометр