ГОСТ Р 8.644-2008 — Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки

Тип и номер: ГОСТ Р 8.644-2008
Наименование: Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки
Страниц в документе: 18
Статус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS
Утвержден: Росстандарт; Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, 26.08.2008
Текст документа: присутствует
Изображение документа: присутствует
Ключевые слова: рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп, лазерный интерферометр, методика калибровки