ГОСТ Р 8.629-2007 — Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

Тип и номер: ГОСТ Р 8.629-2007
Наименование: Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
Страниц в документе: 15
Статус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS
Утвержден: Росстандарт; Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, 21.05.2007
Текст документа: присутствует
Изображение документа: присутствует
Ключевые слова: методика поверки, 2 из 5 чередующийся, рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп, лазерный интерферометр