ГОСТ Р 8.628-2007 — Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Тип и номер: ГОСТ Р 8.628-2007
Наименование: Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Страниц в документе: 11
Статус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS
Утвержден: Росстандарт; Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, 21.05.2007
Текст документа: присутствует
Изображение документа: присутствует
Ключевые слова: размеры, длина, материал, формы, рельефные меры нанометрового диапазона, монокристаллический кремний, растровые электронные измерительные микроскопы, зондовые сканирующие атомно-силовые измерительные микроскопы