Р 50.2.014-2001 — Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в дефектоскопии, полиграфии и фотолитографии. Методика поверки

• Тип и номер: Р 50.2.014-2001
• Наименование: Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в дефектоскопии, полиграфии и фотолитографии. Методика поверки
• Страниц в документе: 16
• Статус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS. ИУС 5-2010
• Утвержден: Госстандарт России; Государственный комитет Российской Федерации по стандартизации и метрологии, 30.11.2001
• Текст документа: присутствует
• Изображение документа: присутствует
• Ключевые слова: средства измерений, энергетическая освещенность, спектральная чувствительность, ультрафиолетовое излучение, радиометр, спектрорадиометр, технологический источник

Вместо этого документа рекомендуется использовать:

• ГОСТ Р 8.659-2009 — Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки