ГОСТ Р 52250-2004 — Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

• Тип и номер: ГОСТ Р 52250-2004
• Наименование: Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
• Страниц в документе: 31
• Статус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS. С правом досрочного применения
• Утвержден: Госстандарт России; Государственный комитет Российской Федерации по стандартизации и метрологии, 10.03.2004
• Текст документа: присутствует
• Изображение документа: присутствует
• Ключевые слова: испытания, приемка, сохраняемость, резист, чувствительность к излучению, разрешающая способность, состав параметров